Màng lỗ hạt được tạo ra bởi các hạt tích điện nặng va chạm vào vật liệu cách điện và mở rộng vết lỗ bằng phương pháp ăn mòn hóa học. Khi quỹ đạo của các hạt tích điện nặng trong màng cách điện có khả năng ăn mòn lớn hơn độ dày của màng, tổn thương bức xạ gây ra bởi mỗi hạt tích điện nặng va chạm theo phương thẳng đứng có thể được ăn mòn ưu tiên bằng phương pháp hóa học, tạo thành các kênh xuyên qua màng cách điện (lỗ micro). Màng cách điện có một hoặc nhiều lỗ micro xuyên qua được gọi là màng lỗ nhân. Có hai loại hạt tích điện nặng được sử dụng để sản xuất màng lỗ nhân: một loại là chùm hạt tích điện nặng được tạo ra từ máy gia tốc ion nặng, loại còn lại là các mảnh vỡ phân hạch, có thể được tạo ra khi mục tiêu phân hạch được đặt trên chùm neutron trong lò phản ứng hạt nhân.
